非接触多点面电阻测量系统

  • 产品型号:NC-80MAP
  • 制造原厂:Napson Corp.

NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自动涡电流非接触式电阻率测量设备。它可以通过电脑进行控制,编辑测试需要测试的硅片大小,测试点位数量,运用涡电流非接触式的量测原理进行测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。

特点

  • 多点测试和图谱显示功能;

  • 宽范围和高精度测试能力;

  • 标配2inch到8inch的测试能力;

  • 软件提供数据表功能,可以提供SPC统计,有最大,最小,平均值和标准方差值;

  • 精密简约的设计,比前代设备体积大大缩小,测试能力却成倍提升

  • 软件内置校正功能

  • 希望彩票(选配)扩展到全自动测试系统

  • (选配)扩展wafer 厚度测试功能

规格

  • 希望彩票标准电阻率测试范围: 0.01 ~ 3200 ohm/sq

  • 高阻测试范围: 0.01 ~10k ohm/sq

  • 超高阻测试范围: 0.01 ~ 100k ohm/sq

  • 探头直径:14mm

  • 希望彩票测试点数: 标准配置217点, 可选999点

  • 测试重复性(1-Sigma,溯源VLSI标准片):

希望彩票            0.04 ohm/sq: 0.1%

希望彩票            0.16 ohm/sq: 0.1%

希望彩票            1.6 ohm/sq: 0.1%

            16 ohm/sq: 0.1%

            400 ohm/sq: 0.2%

希望彩票            600-1000 ohm/sq: 0.2% - 0.7%

            3000 ohm/sq: 1.5%

测试速度

希望彩票点数       预计时间

5点(-)     17s(±1s)

5点(+)    21s(±2s)

9点(+)    24s(±2s)

希望彩票17点       45s(±3s)

37点       70s(±3s)

73点       125s(±5s)

121点     195s(±10s)

217点     320s(±10s)


  • 面电阻测试范围:0.005 ~ 3000 Ω/sq

    探头类型

     - 超低:0.005 ~ 0.01 Ω/sq

     - 低:0.01 ~ 0.5 Ω/sq

     - 中:0.5 ~ 10 Ω/sq

     - 高:10 ~ 3000 Ω/sq

  • 探头直径:14mm

  • 探头间隙:1.7mm ~ 2mm

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