全自动四探针面电阻测量系统

  • 产品型号:WS-3000
  • 制造原厂:Napson Corp.

WS-3000是由日本Napson公司推出的全自动四探针电阻率量测设备。它可以支持FOUP/SMIF等上下料方式,具备GEM/SECS通信功能,实现半导体工厂全自动测试的需求。可以支持多点量测,输出2D/3D Mapping图等自动化功能。


  • 希望彩票高性能全自动晶圆电阻率测试系统

  • 具备距边1mm的量测能力

  • 兼容FOUP/SMIF,具备GEM/SECS通信    

  • 希望彩票可根据不同样品自动切换4种不同规格的探头


特点

自动探头选择(转换器)在4种探头之间

[不需要通过每个不同的样品测量来交换探头]

边缘1mm测量可通过双回路测量模式获得

高速测量

高性价比

兼容FOUP,兼容GEM / SECS


  • 样品尺寸:
    300mm(可选具备200mm)

  • 测量范围:
    方阻: 1m~10M Ω/sq   (可选配达到最大 1G Ω/sq)

  • 重复性:

    CV≤ 0.17%

Image of Mapping

  • Full-automatic type with sample transfer system
  • Full-automatic type with sample transfer system


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