半绝缘高阻测试系统半导体无接触电阻率半自动测试系统

  • 产品型号:COREMA-WT
  • 制造原厂:SemiMap Scientific Instruments GmbH

希望彩票随着第三代半导体,如SiC,AlN等材料的出现和发展,出现了新的测试难题.这种新的宽禁带半导体晶圆,在未进行掺杂之前的衬底阶段,其电阻率非常高,常规的无接触电阻测试方法,无法进行测试.而较常用的四探针电阻率测试仪,则用于整流效应的存在,探针与材料表面不能形成有限的欧姆接触,因此也无法测试.

德国Semimap公司推出的COREMA系列,可以完美测试第三代半导体晶圆的电阻率,因此得到广泛的使用.

测试实例

SiC晶圆

SiC wafer测试实例.png


技术规格
测量范围: 1e5 ohm-cm 到 1e12 ohm-cm
探头尺寸: 直径1mm
重复性: 1e6 ohm-cm到1e9 ohm-cm以内,小于1%;其他范围,小于10%;
去边距离: 标准5mm,最小2.5mm
电阻率测试时间: 单点,阻值在107 ohm-cm,约为270ms,含平台移动1mm的时间
整片测试时间: 100mm直径,1mm测试间距情况下,约36分钟
测试点数:最多1024Χ1024个数据点
  • XY移动平台:150mmΧ150mm

  • 上片方式:手动

  • 探头高度调整:自动调整

  • 希望彩票真空载片盘:150mm直径,自带真空泵

  • 希望彩票遮光罩:测试区域配备阻光罩

  • 希望彩票移动速度: 最大每秒40mm

  • 希望彩票重定位精度: 10um

  • 测量范围: 1e5 ohm-cm 到 1e12 ohm-cm

  • 希望彩票探头尺寸: 直径1mm

  • 重复性: 

    希望彩票1e6 Ohm-cm – 1e9 Ohm-cm,    测试数据偏差小于1%

    去边距离: 标准5mm,最小2.5mm

  • 希望彩票电阻率测试时间: 单点,阻值在1e7 ohm-cm时,约为270ms,含平台移动1mm的时间

  • 希望彩票整片测试时间: 100mm直径,1mm测试间距情况下,约36分钟

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