非接触多点面电阻测量系统

  • 产品型号:NC-80MAP
  • 制造原厂:Napson Corp.

NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自动涡电流非接触式电阻率测量设备。它可以通过电脑进行控制,编辑测试需要测试的硅片大小,测试点位数量,运用涡电流非接触式的量测原理进行测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。


  • 配备高精度,宽量程的非接触式涡电流测量探头

  • 具备Mapping多点量测功能,可显示2D/3D图像

  • 最多可量测217点

  • 支持2-8寸样品

  • 应用:GaAs, GaN, SiC, 金属薄膜材料等


  • 面电阻测试范围:0.005 ~ 3000 Ω/sq

    探头类型

     - 超低:0.005 ~ 0.01 Ω/sq

     - 低:0.01 ~ 0.5 Ω/sq

     - 中:0.5 ~ 10 Ω/sq

     - 高:10 ~ 3000 Ω/sq

  • 探头直径:14mm

  • 探头间隙:1.7mm ~ 2mm

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