非接触式面电阻测试仪

  • 产品型号:EC-80
  • 制造原厂:Napson Corp.

EC-80是由日本Napson公司推出的手动版涡电流非接触式量测设备。它可以通过手动移片的方式,针对半导体硅片或其他导电材料进行无损非接触式的测量,且具备良好的测试精度及重复性


  • 希望彩票紧凑型设计,操作方便

  • 将晶圆放置于探头下面即自动开始测量

  • 通过JOG旋钮快速设定测量条件

  • 希望彩票5个不同测量范围的型号可供选择    


  • 样品尺寸:
    希望彩票支持最大8寸,或156x156mm

  • 测量范围:
     电阻率:1m ~ 200 Ω・cm
     面电阻: 10m~3000 Ω/sq

  • 希望彩票该测量范围由低,中,高,超高阻值的不同测量探头来覆盖:

    低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)

    中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)

    高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)

    超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)


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