大面积光刻机

  • 产品型号:Model 212
  • 制造原厂:OAI INSTRUMENTS

Model 212大面积光刻机是一款性价比高、性能优良的台式光刻机,它只需要占用极小的洁净室空间,为大尺寸晶圆、LCD、薄膜晶体管、FPD和OLED的研发提供了一种经济型选择。利用OAI创新的真空平台,支持大尺寸产品(最高可达12'x12 '或300mm×300mm)快速、轻柔地悬浮起来,以便在曝光时进行光掩模对齐和均匀接触。该系统具有1微米分辨率和对齐能力。

希望彩票校准模块的特点是掩模插入快速可更换晶圆,使用各种衬底和面罩无需特殊工具。Model 212型大面积光刻机的特点是经过验证的OAI紫外光源,它在近、中、深紫外光中使用200 - 2000瓦功率的灯具提供高分辨率紫外光。双传感器光学反馈回路连接到恒光强控制器,以控制曝光强度在期望强度的2%以内。

特点:

  • 低成本的大型晶圆研发工具

  • 希望彩票一种多功能的工具,可以容纳较小的衬底和面具-易于升级为更大的衬底

  • 用于封装、FPD、OLED、半导体晶圆研发

  • 与OAI Model 200桌上型光刻机规格相同

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    衬底尺寸


    最大12” or 300mm

    衬底平台

    X, Y行程

    ±10mm


    Z 行程

    5mm


    千分尺

    .001”; .0001”

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