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希望彩票NanoSpec II沿袭了业界公认的NanoSpec 6100的范围和性能，具有自动化样品对齐的新设计，快速自动对焦，每站点测量时间小于1秒，测量重复性优于1Å。
希望彩票对于现有的6100客户，NanoSpec II将提供一个直观的配方传输系统，为所有测量配方提供全面的后向兼容性。
希望彩票该系统可与Nanometrics强大的NanoDiffract®光谱反射率结合使用分析软件，用于自动图案对齐的图像处理和可选的机器人200mm，晶圆处理系统，使NanoSpec II成为同类中最强大的薄膜系统。
可选功能
•带15倍镜头的UV波长范围选项
•30nm - 120μm厚膜选件 - 包括具有15X透镜和20μm光斑的高分辨率430-730 nm光谱仪
•NanoDiffract SR分析，具有全堆叠多层和光学常数变化监测
•基于Matrox的图像处理自动化图案晶圆对齐
•洁净室操作手册（硬拷贝）
希望彩票•NanoStandard®薄膜厚度标准晶圆（6或8英寸）
光谱范围 200nm – 800nm
膜厚测试范围 35Å-20um
光斑大小 14um
膜厚测试动态重复性
3.5-10nm <1Å
10nm-100nm <0.8Å
100nm-500nm <0.08%
500nm-20um <0.05%
膜厚测试精度
100-200Å ±5Å
300Å-1um ±0.5%
1um-20um ±0.2%
反射率精度
248nm ±0.5%
365nm ±0.5%
633nm ±0.5%
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